在真空实用技术中,真空的获取和测量是两个最重要的方面。在真空系统中,真空获取设备和测量仪器是必不可少的。
目前,该系统广泛应用于电子半导体产业、光电背光模块、机械加工等行业。随着电子技术和计算机技术的发展,各种真空设备正朝着高抽速、高限真空、无污染的方向发展。
各种真空测量设备和微型计算机,具有数字显示、数据打印、自动监控和自动切换量程等功能。真空系统启动后,整个操作过程可实现全自动控制。
在运行过程中,真空系统的真空度总是在允许的范围内上下波动,可以根据用户的要求进行调整。采用螺杆真空泵、旋片真空泵、旋片真空泵和水环真空泵真空系统实现了最佳工艺流程。
当需要高真空时,高真空泵通常串联在真空系统中。高真空泵串联时,通常在泵的进口和出口处加装阀门,使泵保持单独的真空。
启动系统时,主真空泵开始工作,直至真空罐中的真空度达到设定上限值,真空泵自动停止运行,中央真空系统由真空止回阀自动切断管路,保持真空度。