场发射测试系统

主要指标：

1. 电压：0-5000V，稳定度5×10-3/5分钟；

2. 电压分辨率：0—200V分辨率0.1V；200—5000V分辨率1V；

3. 阴阳级距离为0-500微米可调，精度为±1微米；

4. 极限真空5*10-7Pa；

烘烤温度：常温~200℃；