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名称 |
型号 |
主要技术参数 |
主要用途 |
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射频功率源 |
RF1000W |
1、 输出功率大于1000W。 2、 频率13.56MHz.。 3、 输出阻抗 50Ω。 4、 频率稳定度 ±005% 5、 供电电源 220v， 50Hz。 6、 环境温度 -10— +50℃。 7、 相对湿度≤80% 8、 匹配器，匹配范围（2.7-45）Ω—j（0-70）Ω。 9、 开机延时5分钟才能加高压。 10、 连续工作时间4小时。 11、关机后继续吹风1分钟（自动切断电源）。 12、 Ia≥0.7A时，过流保护电路工作。
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本机广泛的应用于，科研；半导体 工艺；真空镀膜；工业材料加工设 备（如磁控溅射设备；等离子清洗； 等离子刻蚀）等的能源 |
