蒸发镀膜设备 CORE PRODUCT

以超高真空技术为基础、以生产真空设备及各种电源为产品方向的科研生产型厂家.十几年来,我们同全国各高等院校及科研院所密切合作,共同开发研制出了一批高技术装备。我们重质量守信用、追求进步、勇于创新。欢迎各位朋友前来合作...



电子束蒸发系统ZF-700
所属系列:蒸发镀膜设备
所属品牌:
商品价格:¥
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商品详情

设备名称

Description

型号

Model

主要技术内容

Specification

主要用途

Usage

其它

Other

电子束蒸发系统

 

The

electron

beam

evaporates

system

ZF-700

极限真空:2x10-4Pa

Ultimate cacuuum:2x10-4Pa

 

蒸发室:700x700x600

Evaporates chamber:700x700x600

 

样品:φ450

Sample size:φ450

 

电子枪:8KW

Electronics:8KW

 

蒸发舟:2个

Boat of evaporate:2

 

配气系统:1路流量控制

Gas flow  system:1-MFC,flow control

 

膜厚控制:MDC360C

Thick control of film:MDC360C

 

样品转速控制:1~5转/分钟

Turning rate:1~5rpm

 

样片膜厚不均匀:小于±6%

The film deviation of the thick asymmetry:±6%

 

用于大面积平板显示器件的研制。

 

Used for researching to 

manufacture

 the big area flat panel

 type display piece

可选计算机监控。自动控制

蒸发过程蒸发速率、膜厚、

温度、电流、电压,并随

时生成其变化的曲线。

 

Can

options:Computer

 process control system.

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