系列电源 CORE PRODUCT

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射频功率源RF500W
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商品详情

名称

型号

主要技术参数

主要用途

射频功率源

RF500W

1、输出功率大于500W,由0-500W可任意调节。

2、输出频率13.56MHz,频率稳定度±0.005%。

3、输出阻抗:50Ω。

4、电源~220V±10,50Hz。

5、环境温度-10~+500C,相对湿度≤80%。

6、自动调谐兼容由开关功换,指示灯指示,匹配范围(2.7~45)Ω—j(0~70)Ω。

7、板流≥0.7A时会过流提示,≥1A会强制保护。

8、当风机出现故障时会峰呜器报警并文字提示。

9、大功率长时间工作,主变压器湿度超过700C时会报警,文字提示,并停止功率输出。

10、开机4分钟后本机在自检中如有负载未接或接触不良会有文字提示。

 

本机广泛地应用于科研、半导体工艺、

真空镀膜、工业材料加工设备(如:

磁控溅射设备、等离子清洗、等离子

溅射刻蚀、沉积、活性离子刻蚀等,设备的能源)。


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