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名称 |
型号 |
主要技术参数 |
主要用途 |
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直流电源 |
1000W |
1、电源输入 ~220V±10V，50Hz。 2、输出功率500W（A款），和输出功率1000W（B款）。可任意调节。 3、输出频率0.1KHz-20KHz，频率稳定度±0.005%。 4、环境温度0~500C，相对湿度≤80%。 5、输出电压/电流/功率自动控制。由于采用了闭环控制，因而，不论负载情况如何（非过流前提下），输出电压/电流/功率都可以根据设定值实时调节，从而达到理想的精度。 6、双单片机过流控制。负载电流过大时，单片机会有过流保护提示，并且关闭数字可控硅调压模块，以及IGBT输出，防止变压器过热损坏，以及其他元器件的烧毁。 7、大功率长时间工作，主变压器温度超过700C时会蜂鸣报警，液晶文字提示过热保护，并停止功率输出。
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本机广泛地应用于科研、半导体工艺、真 空镀膜、工业材料加工设备（如： 磁控溅射设备、等离子清洗、等 离子溅射刻蚀、沉积、活性离子刻蚀等，设备的能源）。 |
