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名称 |
型号 |
主要技术参数 |
主要用途 |
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射频功率源 |
RF500W |
1、输出功率大于500W，由0-500W可任意调节。 2、输出频率13.56MHz，频率稳定度±0.005%。 3、输出阻抗：50Ω。 4、电源~220V±10，50Hz。 5、环境温度-10~+500C，相对湿度≤80%。 6、自动调谐兼容由开关功换，指示灯指示，匹配范围（2.7~45）Ω—j（0~70）Ω。 7、板流≥0.7A时会过流提示，≥1A会强制保护。 8、当风机出现故障时会峰呜器报警并文字提示。 9、大功率长时间工作，主变压器湿度超过700C时会报警，文字提示，并停止功率输出。 10、开机4分钟后本机在自检中如有负载未接或接触不良会有文字提示。
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本机广泛地应用于科研、半导体工艺、 真空镀膜、工业材料加工设备（如： 磁控溅射设备、等离子清洗、等离子 溅射刻蚀、沉积、活性离子刻蚀等，设备的能源）。 |
